特許
J-GLOBAL ID:201603000754217023
紫外線照射装置、及び照度調整方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人クシブチ国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-030592
公開番号(公開出願番号):特開2013-168274
特許番号:特許第5887981号
出願日: 2012年02月15日
公開日(公表日): 2013年08月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 紫外線を放射する光源と、
前記光源から放射される紫外線を反射する半楕円筒状の反射ミラーと、
前記光源、及び照射エリアの間に配置され、前記反射ミラーから反射された紫外線が通る干渉フィルタと、
前記照射エリアの周囲に配置され、前記干渉フィルタを通って前記照射エリアの外に向かう紫外線を、前記照射エリア内で照度が低い箇所に反射する傾斜角度で設けられた補助反射ミラーと、を備え、
前記補助反射ミラーの面内は、
前記干渉フィルタの中心波長よりも短波長側に応答感度のピークを有する照度計で前記照射エリアを測定した場合に、照度が高い箇所を照射する反射光を抑える分光反射特性に設定されており、
前記干渉フィルタを通って前記照射エリアを直接照射する紫外線と、前記補助反射ミラーで反射された紫外線とで、前記干渉フィルタの中心波長、及び前記照度計の応答感度に対応する波長域で前記照射エリアを均一に照射する
ことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (5件):
F21V 13/08 ( 200 6.01)
, F21V 14/04 ( 200 6.01)
, F21V 9/10 ( 200 6.01)
, F21V 7/22 ( 200 6.01)
, F21Y 101/00 ( 201 6.01)
FI (5件):
F21V 13/08
, F21V 14/04
, F21V 9/10
, F21V 7/22 210
, F21Y 101:00 300
引用特許:
出願人引用 (6件)
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紫外線照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-062029
出願人:ハリソン東芝ライティング株式会社
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液晶表示素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-132039
出願人:スタンレー電気株式会社
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光源装置とこれに用いる反射部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-197311
出願人:株式会社ニコン
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審査官引用 (6件)
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紫外線照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-062029
出願人:ハリソン東芝ライティング株式会社
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液晶表示素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-132039
出願人:スタンレー電気株式会社
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光源装置とこれに用いる反射部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-197311
出願人:株式会社ニコン
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