真空装置、有機膜の形成方法、有機EL素子の製造方法、有機EL表示パネル、有機EL表示装置、有機EL発光装置およびゲッター材を構成する材料の選択方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人ナカジマ知的財産綜合事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-091888
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222535
特許番号：特許第5994080号
出願日： 2012年04月13日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機膜材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、を備え、前記排気管の内部に、前記有機膜材料と同一の材料を含むゲッター材が配設されている、真空装置。

IPC (3件)：