特許

J-GLOBAL ID：201603000985485837

パターン化された構造を測定するための方法およびシステム

発明者： ボアズ・ブリル ,  ボリス・シャーマン
出願人/特許権者： ノヴァ・メジャーリング・インストゥルメンツ・リミテッド
代理人 (2件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-020661
公開番号（公開出願番号）：特開2016-118566
出願日： 2016年02月05日
公開日（公表日）： 2016年06月30日
要約：

【課題】パターン化された構造の少なくとも1つのパラメータの測定で使用するための方法およびシステムを提供する。【解決手段】入力データが、構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータ110と、理論的信号と測定された信号との間の関係が構造の少なくとも1つのパラメータを示す理論的信号を示すデータ100とを含む。構造の少なくとも1つの性質を特徴付ける少なくとも1つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程112と、理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程114であって、フィッティングプロシージャの実行が、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するためにペナルティ関数を使用すること、および構造の前記少なくとも1つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することを含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

パターン化された構造の少なくとも1つのパラメータの測定で使用する方法であって、 入力データを提供する過程であって、前記入力データは、 構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータと、 理論的信号を示すデータであって、理論的信号と測定された信号との間の関係は、構造の少なくとも1つのパラメータを示す、データと、を含む、過程と、 構造の少なくとも1つの性質を特徴付ける少なくとも1つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程と、 理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程であって、フィッティングプロシージャの前記実行は、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するために前記ペナルティ関数を使用することと、構造の前記少なくとも1つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することとを含む、過程と を含む方法。

IPC (4件)：

G01B 21/02 ,  G01B 21/08 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/06

FI (4件)：

G01B21/02 Z ,  G01B21/08 ,  G01B11/02 Z ,  G01B11/06 Z

Fターム (29件)：

2F065AA21 ,  2F065AA22 ,  2F065AA25 ,  2F065AA30 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF44 ,  2F065FF49 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2F069AA31 ,  2F069AA43 ,  2F069AA44 ,  2F069AA46 ,  2F069AA49 ,  2F069AA61 ,  2F069AA71 ,  2F069BB15 ,  2F069DD15 ,  2F069GG07 ,  2F069NN09 ,  2F069NN18 ,  2F069NN26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 計測システムクラスター
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-585932   出願人：サーマ-ウェイブ・インク
• パターン化構造の特性をモニタリングする際に使用される方法及びシステム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-515659   出願人：ノヴァ・メジャーリング・インストゥルメンツ・リミテッド