弾性表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-547196
特許番号：特許第5874738号
出願日： 2012年11月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 LiNbO3基板と、前記LiNbO3基板上に形成されたIDT電極と、前記IDT電極を覆うように設けられた誘電体層と、を備え、前記IDT電極がAlを主体とし、かつ前記LiNbO3基板の上面において前記ID T電極の電極指間に溝が形成されており、前記LiNbO3基板を伝搬するラヴ波を用いており、前記溝内には、前記誘電体層が位置しており、前記溝の深さが、前記IDT電極の電極指のピッチで定められる波長をλとしたときに、0.04λ以上である、弾性表面波装置。

IPC (2件)：