特許
J-GLOBAL ID：201603001201323336
被測定物の測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-517918
特許番号：特許第5914474号
出願日： 2012年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 空隙部を有する空隙配置構造体に固体の被測定物を保持し、
前記空隙配置構造体に電磁波を照射して、前記空隙配置構造体から反射された電磁波の周波数特性を検出することにより、前記固体の被測定物の特性を測定する測定方法であって、
前記固体の被測定物を保持する前記空隙配置構造体の一方の主面である第1主面の少なくとも一部に液体を付着させ、前記空隙配置構造体の他方の主面である第2主面側に何も接していない状態で電磁波を照射するステップを含み、
前記空隙配置構造体の前記固体の被測定物が保持される部分において、前記第1主面および前記第2主面に接する支持体は設けられておらず、
前記空隙配置構造体の空隙部は、前記液体が前記第1主面側から前記第2主面側へ漏れないような大きさであり、
前記固体の被測定物の特性は、固体の被測定物の有無、物質量、表面粗さ、および、膜厚のうちから選択される少なくとも1つであり、
前記液体は、気圧が存在する雰囲気下に開放された状態で、前記空隙配置構造体の前記第1主面に付着しており、前記固体の被測定物の特性によって前記液体の表面張力が変化することにより、前記液体の存在場所が変化し、
前記液体の存在場所が変化することによって生じる、前記空隙配置構造体から反射される電磁波の反射率の周波数特性の変化に基づいて、前記固体の被測定物の特性を測定する、測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/35 ( 201 4.01)
, G01N 21/01 ( 200 6.01)
, G01N 21/3586 ( 201 4.01)
G01N 21/35
, G01N 21/01 Z
, G01N 21/358
