特許

J-GLOBAL ID：201603001252822159

送液方法、送液システム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 佐々 卓志 ,  橋本 克也 ,  柴田 大樹 ,  大戸 剛
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二 ,  松澤 寿昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-216461
公開番号（公開出願番号）：特開2016-084719
出願日： 2014年10月23日
公開日（公表日）： 2016年05月19日
要約：

【課題】簡素な構成で液体の移送を可能とする。【解決手段】送液方法は、弾性を有するチューブの外側を覆うチューブ用筐体とチューブの外表面との間の内部空間に充填された気体の圧力に応じてチューブ内に液体を流通させる工程と、チューブ内を流通する液体の圧力の大きさを第1の値として取得する工程と、内部空間に充填された気体の圧力の大きさを第2の値として取得する工程と、第1の値と第2の値との差を第3の値として算出する工程と、第3の値に基づいてチューブの状態を検知する工程とを含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

弾性を有するチューブの外側を覆うチューブ用筐体と前記チューブの外表面との間の内部空間に充填された気体の圧力に応じて前記チューブ内に液体を流通させる工程と、 前記チューブ内を流通する液体の圧力の大きさを第1の値として取得する工程と、 前記内部空間に充填された気体の圧力の大きさを第2の値として取得する工程と、 前記第1の値と前記第2の値との差を第3の値として算出する工程と、 前記第3の値に基づいて前記チューブの状態を検知する工程とを含む、送液方法。

IPC (1件)：

F04B 43/12

FI (1件)：

F04B43/12 T

Fターム (10件)：

3H077AA01 ,  3H077CC04 ,  3H077CC10 ,  3H077DD14 ,  3H077EE05 ,  3H077EE32 ,  3H077EE37 ,  3H077FF03 ,  3H077FF45 ,  3H077FF57

引用特許：

審査官引用 (3件)

• チューブポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-351451   出願人：株式会社イワキ
• 流体を滴下させる装置と、この方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-532398   出願人：エフエスアイインターナショナル
• 流体作動式ポンプ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-523648   出願人：ダヴテック・プロプライエタリー・リミテッド