特許
J-GLOBAL ID：201603001399850778
レーザ照射装置及び表面処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
稲田 弘明
, 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-240855
公開番号（公開出願番号）：特開2016-101596
出願日： 2014年11月28日
公開日（公表日）： 2016年06月02日
要約：
【課題】液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理を行う際の処理能力を向上したレーザ照射装置等を提供する。【解決手段】レーザ光を収束させて液体中の照射対象物に照射する照射用光学系を備えるレーザ照射装置を、照射用光学系は、照射対象物に隣接して配置された最対物側光学素子323における照射対象物側の面部が液体中に配置された状態でレーザ光の照射を行うとともに、最対物側光学素子の照射対象物側とは反対の面部及び他の光学素子は、液体の浸入が実質的に防止されたハウジング内に収容され、最対物側光学素子の外周縁部近傍に設けられ照射対象物側の面部にほぼ沿って液体流を吐出する液体吐出手段440と、最対物側光学素子の外周縁部近傍において液体吐出手段に対して対物側光学素子の中央部を挟んだ反対側に設けられ対物側光学素子の照射対象物側の面部にほぼ沿って流れる液体流を吸入する液体吸入手段450とを備える構成とする。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
レーザ発振器が発するレーザ光を収束させて液体中に配置された照射対象物に照射する照射用光学系を備えるレーザ照射装置であって、
前記照射用光学系は、前記照射対象物に隣接して配置された最対物側光学素子における前記照射対象物側の面部が前記液体中に配置された状態でレーザ光の照射を行うとともに、前記最対物側光学素子の前記照射対象物側とは反対の面部及び他の光学素子は、前記液体の浸入が実質的に防止されたハウジング内に収容され、
前記最対物側光学素子の外周縁部近傍に設けられ前記照射対象物側の面部にほぼ沿って液体流を吐出する液体吐出手段と、
前記最対物側光学素子の外周縁部近傍において前記液体吐出手段に対して前記最対物側光学素子の中央部を挟んだ反対側に設けられ前記最対物側光学素子の前記照射対象物側の面部にほぼ沿って流れる液体流を吸入する液体吸入手段と
を備えることを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (6件)：
B23K 26/142
, H01S 3/00
, B23K 26/122
, B23K 26/146
, B23K 26/08
, G21F 9/30
B23K26/142
, H01S3/00 B
, B23K26/122
, B23K26/146
, B23K26/08 Z
, G21F9/30 535F
4E168AD00
, 4E168CB03
, 4E168CB08
, 4E168DA23
, 4E168DA24
, 4E168DA25
, 4E168DA26
, 4E168DA28
, 4E168DA42
, 4E168EA14
, 4E168EA17
, 4E168EA24
, 4E168FA05
, 4E168FB07
, 4E168FB09
, 4E168FC05
, 4E168KB05
, 5F172AE03
, 5F172AE04
, 5F172AM08
, 5F172ZZ01
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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