特許
J-GLOBAL ID：201603001702148305

X線分析装置

発明者：
大橋 聡史

大橋 聡史 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (2件)： 河野 英仁 ,  河野 登夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-548254
特許番号：特許第6010547号
出願日： 2012年12月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ビームで試料を走査し、走査によって試料から発生するX線を検出し、検出結果に基づいて、試料に含まれる元素の分布を生成するX線分析装置において、 試料上のビームで走査した領域から発生したX線の検出結果から、前記試料に含まれる元素に応じて設定されているエネルギー又は波長の範囲にエネルギー又は波長が含まれるX線の強度分布を取得することにより、前記元素の分布を生成する元素分布生成手段と、 前記範囲にエネルギー又は波長が含まれないX線の強度分布を取得する手段と、 該手段が取得した前記強度分布中で特定の強度以上になっている部分に対応する前記試料上の領域から発生したX線のスペクトルを生成する手段と、 該手段が生成した前記スペクトルに含まれるピークに基づいて、前記試料に含まれる元素を同定する元素同定手段と、 該元素同定手段が同定した元素に対応するX線のエネルギー又は波長の範囲を設定する設定手段とを備え、 前記元素分布生成手段は、 前記設定手段が設定した前記範囲に応じて、前記元素同定手段が同定した元素の分布を生成する手段を有すること を特徴とするX線分析装置。
IPC (4件)：
G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  G01N 23/223 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01N 23/225 312 ,  G01N 23/223 ,  H01J 37/28 Z ,  H01J 37/22 502 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM