特許
J-GLOBAL ID：201003036051876742
エネルギー分散型X線分光器による分析方法及びX線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-007278
公開番号（公開出願番号）：特開2010-164442
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
【課題】 電子線照射により試料から発生するX線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。【解決手段】 電子線照射により試料から発生したX線、二次電子等をそれぞれX線検出器24、電子検出器23で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部34に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部34からX線信号を抽出しX線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のX線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子線を試料に照射して該試料から発生する特性X線をエネルギー分散型X線分光器により検出し該試料の分析を行なうX線分析方法であって、
電子線の試料照射位置を2次元的に制御して該試料から発生した特性X線を検出する検出工程と、
前記検出工程により検出された特性X線のエネルギーを分析する分析工程と、
前記分析工程で検出されたエネルギーのX線信号データの生成及び特性X線の測定経過時間情報データの生成及び前記電子線の位置情報データの生成を行なうデータ処理工程と、
前記データ処理工程により生成された各データを時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶装置に格納するデータ格納工程と、
格納された前記測定経過時間の指定された測定経過時間範囲及び/又は前記位置情報データの指定された位置情報範囲に含まれるX線信号データを前記時系列データから抽出する抽出工程とを有するX線分析方法において、
前記抽出工程によって抽出された前記X線信号データの全て又は一部のデータの時間経過に伴う変動を検出する変動検出工程を備え、
前記変動検出工程において検出されたデータの変動に基づいて試料への電子線照射を停止するようにしたことを特徴とするX線分析方法。
IPC (5件)：
G01N 23/225
, G01T 1/17
, G21K 5/04
, G21K 5/00
, H01J 37/252
G01N23/225
, G01T1/17 H
, G01T1/17 D
, G21K5/04 M
, G21K5/00 A
, H01J37/252 A
2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA07
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001GA01
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001KA01
, 2G088EE30
, 2G088FF03
, 2G088FF15
, 2G088KK06
, 2G088KK07
, 5C033PP01
, 5C033PP04
, 5C033PP05
, 5C033PP08
