特許

J-GLOBAL ID：201603001833945049

超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置

発明者： 中村 友亮 ,  鶴野 次郎 ,  清瀬 摂内
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 井上 一 ,  竹腰 昇 ,  黒田 泰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038402
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175879
特許番号：特許第5990930号
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数の開口がアレイ状に配置された基板と、 前記基板の第1面に形成されて前記複数の開口を覆う可撓膜と、 前記基板の厚み方向からの平面視で、前記可撓膜が前記開口を覆う領域に設けられ、2つの電極間に圧電体膜を有する超音波トランスデューサー素子と、 前記基板の前記第1面とは反対側の第2面に固定され、前記基板の前記厚み方向からの平面視で前記複数の開口の少なくとも1つ以上を覆う補強板とを備え、 前記複数の開口の間の仕切り壁部では、壁厚みが壁高さより小さく、 前記厚み方向からの平面視で、前記圧電体膜と前記仕切り壁部とが重ならない ことを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。

IPC (3件)：

H04R 17/00 ( 200 6.01) ,  A61B 8/00 ( 200 6.01) ,  G01N 29/24 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H04R 17/00 330 G ,  A61B 8/00 ,  H04R 17/00 332 A ,  G01N 29/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 空気に支持されたキャビティを有する圧電微小加工超音波振動子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-558115   出願人：リサーチ・トライアングル・インスティチュート
• 圧電型超音波センサ及びその共振周波数調節方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-283846   出願人：松下電工株式会社
• 超音波診断装置及び接触状態判断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-081998   出願人：富士フイルム株式会社