空気に支持されたキャビティを有する圧電微小加工超音波振動子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-558115
公開番号（公開出願番号）：特表2008-535643
出願日： 2006年03月01日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：

圧電微小加工超音波振動子は、基板及び該基板上に形成された第一誘電体薄膜を備える。側壁を有する開口部は、基板及び第一誘電体薄膜で形成される。底部電極は、開口部に亘っている第一誘電体薄膜上に形成される。圧電素子は、底部電極上に形成される。第二誘電体薄膜は、圧電素子を囲んでいる。共形絶縁膜は、開口部の側壁上に形成される。共形導電膜は、底部電極と接触して、そして、開口部の側壁に形成され、開口キャビティは開口部中に維持される。頂部電極は、圧電素子に接触するように形成されている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板を通って形成される開口部と、前記開口部に亘っている前記基板上に形成される底部電極と、前記底部電極上に形成される圧電素子と、前記底部電極と接触して前記開口部の側壁上に形成される共形導電膜と、を備え、前記開口部中に開口キャビティが保持される、圧電微小加工超音波振動子。

IPC (7件)：

B06B 1/06 , H04R 17/00 , H04R 31/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/193

FI (8件)：

B06B1/06 Z , H04R17/00 332A , H04R31/00 330 , H01L41/08 C , H01L41/18 101B , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/18 102

Fターム (11件)：

4C601GB06 , 4C601GB20 , 4C601GB44 , 5D019AA25 , 5D019BB07 , 5D019BB17 , 5D019FF04 , 5D019HH01 , 5D107AA13 , 5D107BB07 , 5D107CC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

音響バッキング材料を介して超音波変換器に電気的に接続する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-391556 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
超音波探触子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-276284 出願人：富士通株式会社
超音波発生要素を回路に結合するシステム及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-304292 出願人：ノヴァソニックスインコーポレイテッド

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