特許
J-GLOBAL ID：200903047348178921
圧電型超音波センサ及びその共振周波数調節方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-283846
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051687
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 超音波受信素子がアレイ状に配列された圧電型超音波センサにおいて、各超音波受信素子の共振周波数をほぼ同じ値に揃えて、圧電型超音波センサによる物体の位置の確認精度を向上させる。【解決手段】 複数のダイアフラム5が形成された基板3と、基板3の一面に形成された圧電材料の薄膜7と、圧電材料の薄膜7のうち、1つのダイアフラム5に対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の下部電極6及び上部電極8を備えた圧電型超音波センサ1において、各超音波受信素子2の共振周波数がほぼ同じ値となるように、下部電極6と上部電極8の間に所定の直流電圧を印加し、圧電材料の薄膜7に歪みを生じさせ、ダイアフラム5の見かけの縦弾性係数を所望する値に変化させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
1つのダイアフラムに対応し、前記圧電材料の薄膜及び互いに対向する2つの電極の領域で構成される超音波受信素子に対して、外力を加えることにより、その超音波受信素子におけるダイアフラムの形状又は内部応力を変化させることを特徴とする圧電型超音波センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H04R17/10 330Y
, H04R17/00 332A
, G01S7/52 A
5D019AA08
, 5D019BB19
, 5D019BB25
, 5D019FF01
, 5J083AC40
, 5J083CA07
, 5J083CA12
, 5J083CB01
, 5J083CB04
, 5J083CB14
, 5J083CB18
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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