特許
J-GLOBAL ID：201603001897697570
液供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-040814
公開番号（公開出願番号）：特開2014-168734
特許番号：特許第5853971号
出願日： 2013年03月01日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理液をノズルから被処理体に供給するための液供給装置において、
屈曲部位を有する流路における当該屈曲部位の上流側に相当し、その上流端が前記処理液の液供給源に接続された第1の液供給路と、
この第1の液供給路に介設され、処理液の給断を行うためのバルブと、
前記流路における前記屈曲部位の下流側に相当し、その下流端にノズルが設けられた第2の液供給路と、
前記屈曲部位に臨む壁部を構成する進退自在な振動吸収用の可動壁部と、
前記バルブを閉じた時に処理液が前記ノズル側に押し出された後、前記バルブ側に引き戻される時に、前記振動吸収用の可動壁部を後退させるための駆動部と、
前記第2の液供給路の下流側に設けられ、前記ノズルからの液の吐出が終了し、前記振動吸収用の可動壁部が後退した後、前記ノズル内の処理液の液面を引き込むための吸引機構と、を備えたことを特徴とする液供給装置。
IPC (2件)：
B05C 11/10 ( 200 6.01)
, G03F 7/16 ( 200 6.01)
