特許
J-GLOBAL ID：201603002044996913
光硬化性ナノインプリント用組成物およびパターンの形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-202218
公開番号（公開出願番号）：特開2014-057016
特許番号：特許第5975814号
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)下記式(1)
(式中、
R1は、水素原子、またはメチル基であり、
R2は、メチレン基、ジメチレン基、またはトリメチレン基であり、
R3は、メチル基、またはエチル基であり、
R4は、炭素数1〜4のアルキル基であり、
lは1であり、mは0〜2の整数であり、kは1〜3の整数であり、
l+m+kは4であり、
R2、R3、およびR4が、それぞれ、複数存在する場合には、複数のR2、R3、およびR4は、それぞれ、同種の基である)で示される(メタ)アクリル基を有する有機珪素化合物、
(B)下記式(2)
(式中、
Mは、タングステン、ジルコニウム、またはハフニウムであり、
R5は、炭素数1〜4のアルキル基であり、同一の基であり、
Mがタングステンの場合、pは5であり、
Mがハフニウム、ジルコニウムの場合、pは4である。)
で示される金属アルコキシド、
(C)(メタ)アクリル基を有する重合性単量体(ただし、前記式(1)で示される(メタ)アクリル基を有する有機珪素化合物を除く。)、並びに
(D)光重合開始剤
を含有する光硬化性ナノインプリント用組成物であって、該光硬化性ナノインプリント用組成物中の全アルコキシ基のモル数に対して、水分量が0.09倍モル以下であることを特徴とする光硬化性ナノインプリント用組成物。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C08F 2/44 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, B29K 85/00 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, C08F 2/44 B
, B29C 59/02 ZNM Z
, B29K 85:00
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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