特許
J-GLOBAL ID:201603002272822801
流量試験装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
後藤 政喜
, 飯田 雅昭
, 須藤 淳
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-065759
公開番号(公開出願番号):特開2013-196607
特許番号:特許第6006950号
出願日: 2012年03月22日
公開日(公表日): 2013年09月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 サーボバルブにて流量制御を行いながら供試体に対して作動流体を吐出して供試体の性
能試験を行う流量試験装置であって、
作動流体を供給する流体圧供給源と、
前記流体圧供給源から供給される作動流体を流量制御を行いながら吐出するサーボバル
ブと、
前記サーボバルブの入口圧力を検出する入口圧力検出器と、
前記サーボバルブの出口圧力を検出する出口圧力検出器と、
前記サーボバルブのスプール変位を検出する変位検出器と、
前記入口圧力検出器、前記出口圧力検出器、及び前記変位検出器の検出結果に基づいて前記サーボバルブの吐出流量を演算し、当該演算流量が予め定められた設定流量となるように前記サーボバルブに開度指令を出力するコントローラと、
前記サーボバルブの吐出流量を検出する流量検出器と、を備え、
前記設定流量は、パルス状に変化するパルス状流量波形であり、
前記コントローラは、前記流量検出器にて検出された実流量が前記設定流量となるように前記開度指令を補正する開度補正信号を前記パルス状流量波形のうち一定流量域で演算するとともに、前回の前記パルス状流量波形を発生させた際に演算した前記開度補正信号によって前記開度指令を補正して、今回の前記パルス状流量波形を発生させることを特徴とする流量試験装置。
IPC (2件):
G05D 7/06 ( 200 6.01)
, G01F 1/34 ( 200 6.01)
FI (2件):
G05D 7/06 Z
, G01F 1/34 Z
引用特許:
出願人引用 (8件)
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油圧制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-291303
出願人:カヤバ工業株式会社
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-174015
出願人:日立湘南電子株式会社
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特開平4-047416
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特開昭63-236939
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流量制御方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-162796
出願人:日立金属株式会社
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流量制御方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-045595
出願人:日立金属株式会社
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-062573
出願人:国際電気株式会社
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気体流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-204016
出願人:株式会社堀場製作所
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審査官引用 (4件)
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油圧制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-291303
出願人:カヤバ工業株式会社
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-174015
出願人:日立湘南電子株式会社
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特開平4-047416
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