特許
J-GLOBAL ID：201603002646277586
複合荷電粒子ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
特許業務法人栄光特許事務所
, 濱田 百合子
, 橋本 公秀
, 吉田 将明
, 久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-066005
公開番号（公開出願番号）：特開2013-197046
特許番号：特許第5952046号
出願日： 2012年03月22日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料室と、
試料を保持する試料台と、
前記試料に電子ビームを照射するための電子ビーム鏡筒と、
前記試料にイオンビームを照射し、エッチング加工するためのイオンビーム鏡筒と、
前記試料から発生する荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器からの検出信号から荷電粒子像を形成する像形成部と、
前記試料台を前記電子ビームの照射軸方向に移動させる試料台駆動部と、
前記試料の前記電子ビームが照射される位置に前記イオンビームを照射できるように前記イオンビーム鏡筒を前記試料室に対し相対的に移動させる鏡筒調整部と、を有し、
前記イオンビーム鏡筒の照射軸は、前記電子ビーム鏡筒の照射軸と前記試料上で直交し、
前記鏡筒調整部は、前記電子ビームの照射方向と平行な方向に前記イオンビーム鏡筒を移動させる複合荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/30 ( 200 6.01)
H01J 37/317 D
, H01J 37/28 B
, H01J 37/20 D
, H01J 37/20 Z
, H01J 37/30 Z
