荷電ビーム装置及びそのビーム軸の軸合わせ方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202080
公開番号（公開出願番号）：特開2007-018986
出願日： 2005年07月11日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】 2つのビーム軸を有する荷電ビーム装置において、2つのビーム軸を交差させる軸合わせを効率化する。【解決手段】重力方向の第1ビーム軸を有する第1のビーム照射系と、重力方向に対して傾斜した第2ビーム軸を有する第2のビーム照射系と、有する荷電ビーム装置において、先ず、試料を上下方向に移動させて、第1ビーム軸と試料の表面の交点Oiと第2ビーム軸と試料の表面の交点Oeの間のXi方向の距離ΔXiをゼロにする。次に、第2のビーム照射系を水平方向に移動させて、第1ビーム軸と試料の表面の交点Oiと、第2ビーム軸と試料の表面の交点Oeの間のYi方向の距離ΔYiをゼロにする。こうして粗調整を行った後に、微調整を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

重力方向の第1ビーム軸を有する第1のビーム照射装置と、重力方向に対して傾斜した第2ビーム軸を有する第2のビーム照射装置と、上記第1および第2のビーム照射系を支持する試料筐体と、上記第1ビーム軸を上記第2ビーム軸に交差させるための照射軸位置調整部と、を有し、試料の表面上にX軸及びY軸をとるとき、上記第1ビーム軸と試料の表面の交点である第1の交点と上記第2ビーム軸と試料の表面の交点である第2の交点との間のX方向の距離ΔXがゼロとなるように、上記試料を上下方向に移動させ、第1の交点と第2の交点の間のY方向の距離ΔYがゼロとなるように、上記照射軸位置調整部によって上記第1ビーム軸をY方向に移動させるように構成されている荷電ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/317 , H01J 37/147 , H01J 37/18 , H01J 37/28

FI (4件)：

H01J37/317 D , H01J37/147 B , H01J37/18 , H01J37/28 B

Fターム (7件)：

5C033KK07 , 5C033KK09 , 5C033UU01 , 5C033UU03 , 5C033UU10 , 5C034DD06 , 5C034DD09

引用特許：

出願人引用 (3件)

複合荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-019230 出願人：日本電子株式会社
特開平2-27648号公報
特開昭56-76151号公報

審査官引用 (5件)

複合荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-019230 出願人：日本電子株式会社
走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-341691 出願人：株式会社トプコン
特開昭62-098544

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