特許

J-GLOBAL ID：201603002655590092

EUVリソグラフィ用のミラーの基板

発明者： クラウディア エクスタイン ,  ホルガー マルトア
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  下地 健一 ,  坪内 伸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-549778
特許番号：特許第6023083号
出願日： 2012年01月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ベース体を備えたEUVリソグラフィ用のミラーの基板であって、 前記ベース体は、アルミニウム-銅二元系の合金からなり、 前記合金が、対応の合金系の状態図において相安定線で囲まれた領域にある組成を有することを特徴とする基板。

IPC (1件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 高精密度のミラーおよびその製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-503844   出願人：レイセオン・カンパニー
• 高軟化特性析出硬化型銅合金
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-056192   出願人：中越合金鋳工株式会社, 本田技研工業株式会社
• 光学素子基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-180557   出願人：日本鋼管株式会社
• リフレクタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-217919   出願人：アルスイス・テクノロジー・アンド・マネージメント・リミテッド
• 特開昭61-266535
  

審査官引用 (5件)

• 高精密度のミラーおよびその製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-503844   出願人：レイセオン・カンパニー
• 高軟化特性析出硬化型銅合金
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-056192   出願人：中越合金鋳工株式会社, 本田技研工業株式会社
• 光学素子基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-180557   出願人：日本鋼管株式会社
• リフレクタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-217919   出願人：アルスイス・テクノロジー・アンド・マネージメント・リミテッド
• 特開昭61-266535