特許
J-GLOBAL ID:201603003068610192

圧電材料の評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉延 彰広
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-201835
公開番号(公開出願番号):特開2014-055900
特許番号:特許第6017236号
出願日: 2012年09月13日
公開日(公表日): 2014年03月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】板状の圧電材料の厚み方向に伝搬する縦波を該圧電材料の一方の端面から入力してから、該縦波が他方の端面で反射し該一方の端面に戻ってくるまでの縦波伝搬時間を計測し、該縦波伝搬時間と該圧電材料の厚みから縦波速度を取得する縦波速度取得ステップと、 前記圧電材料の厚み方向に伝搬する横波を該圧電材料の一方の端面から入力してから、該横波が他方の端面で反射し該一方の端面に戻ってくるまでの横波伝搬時間を計測し、該横波伝搬時間と該圧電材料の厚みから横波速度を取得する横波速度取得ステップと、 前記縦波速度と前記横波速度との比率を算出する比率算出ステップと、 前記比率から前記圧電材料の圧電性の大きさの程度を評価する評価ステップとを有することを特徴とする圧電材料の評価方法。
IPC (3件):
G01R 29/22 ( 200 6.01) ,  G01N 29/07 ( 200 6.01) ,  H01L 41/22 ( 201 3.01)
FI (3件):
G01R 29/22 Z ,  G01N 29/07 ,  H01L 41/22
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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