特許
J-GLOBAL ID：201603003078137045
ダイ供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加古 宗男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-507084
特許番号：特許第5988453号
出願日： 2012年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから剥離させ、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して得られた画像を処理して該ダイの位置を認識する画像処理手段と、
前記ダイシングシート上のダイのうち、前記カメラで撮像するダイ(以下「撮像ダイ」という)を1個おき又は複数個おきに設定し、前記撮像ダイについては前記画像処理手段により該撮像ダイの位置を認識して該撮像ダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行し、前記カメラで撮像しないダイ(以下「非撮像ダイ」という)については前記撮像ダイの認識位置を基準にして該非撮像ダイの位置を推定して該非撮像ダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記ダイシングシート上のダイの良否を示すウエハマッピングデータに基づいて良品ダイと不良ダイとを判別して、良品ダイについてのみ突き上げ動作及び吸着動作を行い、不良ダイについては突き上げ動作及び吸着動作を行わず、
不良ダイが所定数以上連続して並んでいる場合は、前記撮像ダイに設定された不良ダイについては、撮像のみ行って前記画像処理手段により該不良ダイの位置を認識し、
不良ダイが所定数以上連続して並んでいない場合は、不良ダイが前記撮像ダイに設定されても撮像しないことを特徴とするダイ供給装置。
IPC (2件)：
H01L 21/67 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
H01L 21/68 E
, H01L 21/78 Y
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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