基板保持検査方法および基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：振角正一 , 梁瀬右司 , 大西一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-150368
公開番号（公開出願番号）：特開2016-025293
出願日： 2014年07月24日
公開日（公表日）： 2016年02月08日
要約：

【課題】基板保持の検査を高い信頼性で行うことができる基板保持検査方法、ならびに当該基板保持検査方法を用いて基板に対する処理を安定的に行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板保持部により基板を略水平姿勢に保持する保持工程と、基板保持部に保持される基板を水平方向から撮像して第1画像を取得する撮像工程と、第1画像に基づいて基板保持部による基板の保持を検査する検査工程とを備えている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板保持部により基板を略水平姿勢に保持する保持工程と、前記基板保持部に保持される前記基板を水平方向から撮像して第1画像を取得する撮像工程と、前記第1画像に基づいて前記基板保持部による前記基板の保持を検査する検査工程とを備えることを特徴とする基板保持検査方法。

IPC (3件)：

H01L 21/683 , H01L 21/027 , H01L 21/304

FI (4件)：

H01L21/68 N , H01L21/30 569C , H01L21/30 564C , H01L21/304 648Z

Fターム (42件)：

5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA12 , 5F131BA12 , 5F131BA18 , 5F131BA37 , 5F131BA39 , 5F131BB04 , 5F131CA09 , 5F131CA53 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131EA10 , 5F131EA24 , 5F131EB32 , 5F131EB35 , 5F131EB54 , 5F131FA13 , 5F131JA16 , 5F131JA26 , 5F131JA27 , 5F131JA32 , 5F131KA14 , 5F131KA45 , 5F131KA72 , 5F131KB05 , 5F131KB09 , 5F131KB43 , 5F131KB56 , 5F146JA10 , 5F146JA27 , 5F146LA05 , 5F146LA19 , 5F157AB02 , 5F157AB14 , 5F157AB33 , 5F157AB90 , 5F157AC04 , 5F157CF12 , 5F157CF42 , 5F157CF66 , 5F157DA21

引用特許：

審査官引用 (3件)

搬送装置、半導体製造装置および搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-344921 出願人：株式会社半導体先端テクノロジーズ
基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-254087 出願人：東京エレクトロン株式会社
特許第9039863号

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