特許
J-GLOBAL ID：201303004140686615
基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内野 美洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-254087
公開番号（公開出願番号）：特開2013-110270
出願日： 2011年11月21日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
要約：
【課題】基板の材質や表面の状態などの影響を受けることなく基板の保持状態の良否を正確に判断できる基板処理装置を提供すること。【解決手段】本発明では、基板(2)を保持する基板保持手段(22)と、前記基板保持手段(22)で前記基板(2)を正常に保持したときに前記基板(2)の端縁部が存在する領域を撮影する撮影手段(25)と、前記撮影手段(25)で撮影した画像に基づいて前記基板保持手段(22)による前記基板(2)の保持状態を判断する制御手段(26)とを有することにした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で前記基板を正常に保持したときに前記基板の端縁部が存在する領域を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段で撮影した画像に基づいて前記基板保持手段による前記基板の保持状態を判断する制御手段と、
を有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/304 643A
, H01L21/304 648G
, G02F1/13 101
2H088FA18
, 2H088MA20
, 5F157AB02
, 5F157AB14
, 5F157AB33
, 5F157AB90
, 5F157BB22
, 5F157CD16
, 5F157CD29
, 5F157CF42
, 5F157CF44
, 5F157DB02
