インプリント装置、それを用いた物品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高岡亮一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054892
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191628
特許番号：特許第6021365号
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上のインプリント材と型とを接触させた状態で光を照射することで、前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、前記光を照射するための光照射部と、前記型を保持し、前記型を介して前記基板に向けて前記光照射部から照射された前記光が通過するように開口が形成された型保持部と、を備え、前記基板と前記型の少なくともいずれかで反射した反射光が入射し得る前記型保持部の表面のうち、前記型に対向する表面、または、前記型に接触する表面は、前記光照射部から照射された前記光に対する前記型の表面の反射率よりも低い反射率を有することを特徴とするインプリント装置。

IPC (2件)：