特許
J-GLOBAL ID：201603003694701515

起点座標補正方法

発明者：
滝田 宏一

滝田 宏一 について

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松崎 純

松崎 純 について

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細谷 悟史

細谷 悟史 について

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毛留 裕介

毛留 裕介 について

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小田 晃之

小田 晃之 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-143498
公開番号（公開出願番号）：特開2014-006202
特許番号：特許第5982194号
出願日： 2012年06月26日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークを、その処理面を開放してステージ上に保持させ、互いに直交する水平2方向をX軸方向及びY軸方向と、X軸方向及びY軸方向に直交する方向をZ軸方向とし、ステージに対しX軸方向に相対移動自在なフレームにZ軸方向にのびる回転軸を設け、前記回転軸に、先端部を当該回転軸の軸線から径方向にオフセットさせて処理手段を設け、前記回転軸の回転角を変えて当該処理手段をワークに対してX軸方向及びY軸方向の少なくとも一方向に相対移動させながら所定の処理を施す処理装置にて、処理面のうち処理手段で処理を開始する位置を起点座標とし、前記処理手段の先端部が起点座標にある状態から回転軸を所定の指定回転角で回転させたとき、その指定回転角に応じて前記処理手段の先端部を起点座標に一致させる起点座標補正方法であって、 前記回転軸の回転角が0°のときにワークの処理面に対して前記処理手段の先端部が位置する座標を基準座標として特定すると共に、前記回転軸を90°回転させたときに前記処理手段の先端部が位置する座標を第1座標、前記回転軸を180°回転させたときに前記処理手段の先端部が位置する座標を第2座標として夫々特定する工程と、前記基準座標と前記第1座標とを基に回転軸の回転中心から前記処理手段の先端部までの距離を算出すると共に、前記第1座標と前記第2座標とを基に前記回転軸の回転中心から前記処理手段の先端部までの距離を算出し、これらを平均化して前記回転軸の回転中心から前記処理手段の先端部までの平均距離を求める工程と、前記回転軸を180°回転させたとき、前記基準座標と前記第2座標との前記処理手段の先端部を結ぶ線とX軸またはY軸とのなす角度をオフセット角として求める工程とを有し、 前記処理手段の先端部が起点座標にある状態から回転軸が所定の指定回転角で回転された場合、次式から変換座標を求め、当該変換座標を基に前記処理手段の先端部の位置を補正することを特徴とする起点座標補正方法。 但し、X、Yは、起点座標、X’,Y’は変換座標、θは、指定回転角、rは平均距離、γはオフセット角、ψは、起点位置の処理手段の先端部の位置と指定回転角θで回転させたとき処理手段の先端部の位置とを結ぶ線とX軸またはY軸とのなす角度とする。
IPC (1件)：
G01B 5/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01B 5/00 A ,  G01B 5/00 P
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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