粒子検出システム及び粒子検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：稲葉良幸 , 大貫敏史 , 江口昭彦 , 内藤和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024635
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153258
特許番号：特許第6031372号
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置と、検査対象気体に含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための気体検査用流路と、検査対象液体からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、前記エアロゾルに含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための液体検査用流路と、検査対象固体に付着している粒子を気体中に分散させ、捕集するための捕集機構と、前記捕集機構で捕集された粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための固体検査用流路と、を備える、粒子検出システム。

IPC (1件)：