特許
J-GLOBAL ID：201603003891891962
抵抗測定装置および抵抗測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-053932
公開番号（公開出願番号）：特開2013-186098
特許番号：特許第5955592号
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1電気信号を出力する第1電気信号出力部と、測定対象体に対する前記第1電気信号の供給に伴って生じる第2電気信号を検出する検出部とを備えて、前記検出部によって検出された前記第2電気信号の値と前記第1電気信号の値とに基づいて前記測定対象体の抵抗値を測定すると共に当該第1電気信号の供給によって当該測定対象体に帯電した電荷を除去可能に構成された抵抗測定装置であって、
前記電荷を除去するための抵抗と、前記抵抗と前記測定対象体との接続および切断を切り替える切り替え部と、交流信号を出力する交流信号出力部と、制御部とを備え、
前記制御部は、前記測定対象体に対する第1電気信号の供給停止状態において前記切り替え部を制御して当該測定対象体と前記抵抗とを接続させて前記電荷を除去する第1除電処理を実行した後に、前記切り替え部を制御して前記測定対象体と前記抵抗との接続を解除させると共に前記交流信号出力部を制御して当該測定対象体に対して前記交流信号を供給させて前記電荷を除去する第2除電処理を実行すると共に、前記測定対象体に対する前記第1電気信号および前記交流信号の供給停止状態において前記第2除電処理の実行後に前記検出部によって検出された前記第2電気信号の値が予め決められた値以上のときに、前記第2除電処理を再実行する抵抗測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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