圧力センサ、並びに圧力センサを用いたマイクロフォン、血圧センサ、及びタッチパネル

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：きさらぎ国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-136503
公開番号（公開出願番号）：特開2016-014581
出願日： 2014年07月02日
公開日（公表日）： 2016年01月28日
要約：

【課題】センサが載置される膜部の特性を均一化する。【解決手段】以下に説明する実施の形態の形態に係る圧力センサは、支持部と、その支持部に支えられ可撓性を有する膜部と、膜部に形成される歪検知素子とを備える。前記歪検知素子は、膜部に形成され磁化を有する第1磁性層と、磁化を有する第2磁性層と、第1磁性層及び第2磁性層との間に形成された中間層とを含む。第1磁性層の磁化及び第2磁性層の磁化の少なくとも一方は、膜部の歪に応じてその方向が他方に対し相対的に変化する。そして、膜部はアルミニウムを含む酸化物層を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持部と、前記支持部に支えられ、可撓性を有する膜部と、前記膜部に形成される歪検知素子とを備え、前記歪検知素子は、前記膜部に形成され磁化を有する第1磁性層と、磁化を有する第2磁性層と、前記第1磁性層及び前記第2磁性層との間に形成された中間層とを含み、前記第1磁性層の磁化及び前記第2磁性層の磁化の少なくとも一方は、前記膜部の歪に応じてその方向が他方に対し相対的に変化し、前記膜部がアルミニウムを含む酸化物層を含むことを特徴とする圧力センサ。

IPC (5件)：

G01L 9/16 , H01L 43/08 , H04R 15/00 , A61B 5/02 , G06F 3/041

FI (7件)：

G01L9/16 , H01L43/08 Z , H01L43/08 U , H04R15/00 , A61B5/02 310M , G06F3/041 400 , G06F3/041 602

Fターム (51件)：

2F055AA01 , 2F055AA05 , 2F055AA12 , 2F055BB14 , 2F055CC02 , 2F055DD19 , 2F055EE23 , 2F055EE29 , 2F055FF11 , 2F055GG01 , 2F055GG11 , 2F055GG44 , 4C017AA08 , 4C017AB02 , 4C017AC01 , 4C017AC06 , 4C017EE06 , 5F092AA15 , 5F092AB10 , 5F092AC08 , 5F092AC11 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092AD12 , 5F092AD24 , 5F092BB10 , 5F092BB15 , 5F092BB17 , 5F092BB18 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB24 , 5F092BB31 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB37 , 5F092BB42 , 5F092BB43 , 5F092BB53 , 5F092BB55 , 5F092BB60 , 5F092BB66 , 5F092BC03 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BC18 , 5F092BC22 , 5F092BC46 , 5F092BE06 , 5F092BE13 , 5F092BE14

引用特許：

審査官引用 (5件)

歪検知素子、および血圧センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-223175 出願人：株式会社東芝
圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、およびタッチパネル
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-254784 出願人：株式会社東芝
特開平4-148569

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