特許
J-GLOBAL ID：201603004807883271

変位検出装置

発明者：
小栗 大介

小栗 大介 について


出願人/特許権者：
DMG森精機株式会社

DMG森精機株式会社 について


代理人 (5件)： 小池 晃 ,  伊賀 誠司 ,  藤井 稔也 ,  野口 信博 ,  祐成 篤哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-143409
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025699
特許番号：特許第6029349号
出願日： 2012年06月26日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 変位量測定用の照射光を出射する光源と、 上記光源から出射された変位量測定用の照射光を被測定面に向けて集光する対物レンズと、 上記被測定面により上記変位量測定用の照射光が反射され変位量測定用の検出光の光路を上記光源から出射された変位量測定用の照射光の光路と分離する分離光学系と、 上記分離光学系によって上記照射光の光路と分離された上記検出光を集光する集光手段と、 上記集光手段によって集光された上記検出光の光量を検出する受光部と、 上記受光部により検出された上記検出光の光量から上記被測定面の傾斜に起因する当該受光部上でのビーム位置のシフトによる受光バランスのズレ量を算出し、算出したズレ量により上記被測定面の傾斜の影響を補正したフォーカスエラー信号を生成する演算処理部と、 上記演算処理部により生成されたフォーカスエラー信号を用いて、上記対物レンズによって集光された上記照射光の焦点が上記被測定面の手前側又は奥側に位置するときに、上記フォーカスエラー信号の値が0になるように、フォーカスサーボを掛けるフォーカス制御部と、 上記フォーカスエラー信号を用いて上記被測定面の位置情報を生成する位置情報生成部と を備える変位検出装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G02B 7/28 ( 200 6.01) ,  H04N 5/232 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01B 11/00 B ,  G02B 7/28 J ,  H04N 5/232 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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