特許

J-GLOBAL ID：201603005776309632

異常検出方法、プログラムおよび異常検出装置

発明者： 池 田 隆 洋
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  箱崎 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-038994
公開番号（公開出願番号）：特開2014-167417
特許番号：特許第5970395号
出願日： 2013年02月28日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体製造工程においてウェーハ上に発生する欠陥またはパーティクルの座標データを取得することと、 得られた座標データからエバハート指数を算出することと、 二項分布またはポアソン分布に従う空間点分布に対するエバハート指数の標本分布に基づいて、上側確率点および下側確率点を含む第1の確率点を算出することと、 算出されたエバハート指数と前記第1の確率点とを比較し、その比較結果から、前記欠陥または前記パーティクルに対する空間点分布の状態の変化の有無を判定することと、 空間点分布の状態の変化の判定の結果が有りだった場合には、前記欠陥または前記パーティクルの前記座標を前記ウェーハの中心を原点とする極座標に変換することと、 前記極座標の動径および方位角成分への投影により一次元座標を算出することと、 前記一次元座標に対するエバハート指数を算出することと、 算出された前記一次元座標に対するエバハート指数と、指数分布から算出される第2の確率点と、を比較し、その比較結果から前記欠陥または前記パーティクルの偏在の態様を判定することと、 を備える異常検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• パーティクル分布解析支援方法及びその方法を実施するためのプログラムを記録した記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-152463   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 抜取検査の評価方法及び抜取検査の評価装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-013360   出願人：株式会社東芝
• 座標平面におけるデータ点分布領域の識別方法及びその識別プログラム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-061821   出願人：株式会社リコー

引用文献：

審査官引用 (2件)

• Testing randomness of spatial pattern using Eberhardt's index
• Testing randomness of spatial pattern using Eberhardt's index