特許
J-GLOBAL ID：201203061254091421
パーティクル分布解析支援方法及びその方法を実施するためのプログラムを記録した記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-152463
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013624
出願日： 2010年07月02日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】1枚の対象基板の測定結果だけで,パーティクル分布が異常か否かを極めて容易に判定できるようにする。【解決手段】パーティクル分布解析を行う対象基板について,その基板上のパーティクル座標データからパーティクル相互間距離についてのヒストグラムデータを作成するとともに,その対象基板上のパーティクルと同数のパーティクルを計算上ランダムに分布させた複数枚の仮想基板について,パーティクル相互間距離のヒストグラムデータを作成する。これら対象基板と各仮想基板のヒストグラムデータ群との差異に基づいて,対象基板のヒストグラムデータについて仮想基板のランダムなヒストグラムデータ群からの距離を数値化した判定データを算出して表示部に表示する。【選択図】 図13
請求項（抜粋）：
基板上のパーティクル分布解析を支援する方法であって,
前記パーティクル分布解析を行う対象基板について,その基板上のパーティクル座標データからすべてのパーティクルについてそれぞれの相互間距離を求め,そのパーティクル相互間距離を複数の階級に分けたときに前記各階級のパーティクル数を頻度としたヒストグラムデータを作成して記憶部に記憶する対象基板データ作成ステップと,
前記対象基板上のパーティクルと同数のパーティクルを計算上ランダムに分布させた複数枚の仮想基板について,これらの基板上のパーティクル座標データから前記パーティクル相互間距離を求め,そのパーティクル相互間距離を複数の階級に分けたときに前記各階級のパーティクル数を頻度としたヒストグラムデータを前記仮想基板の枚数分だけ作成して前記記憶部に記憶する仮想基板データ作成ステップと,
前記対象基板のヒストグラムデータと前記各仮想基板のヒストグラムデータについて,前記仮想基板のヒストグラムデータ群の平均との差異を表す差異データを作成して前記記憶部に記憶する差異データ作成ステップと,
前記対象基板と前記各仮想基板の前記差異データに基づいて,前記対象基板のヒストグラムデータについての前記仮想基板のヒストグラムデータ群からの距離を数値化した判定データを算出して前記記憶部に記憶する判定データ作成ステップと,
前記判定データを表示部に表示する表示ステップと,
を有することを特徴とするパーティクル分布解析支援方法。
IPC (4件)：
G01N 15/02
, H01L 21/66
, G01N 21/956
, G01N 21/94
G01N15/02 C
, H01L21/66 J
, G01N21/956 A
, G01N21/94
2G051AA51
, 2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051BC07
, 2G051CB05
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EC02
, 2G051EC03
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA42
, 4M106CA43
, 4M106DB02
, 4M106DB08
, 4M106DB21
, 4M106DJ17
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ23
, 4M106DJ38
