特許

J-GLOBAL ID：200903002065766882

抜取検査の評価方法及び抜取検査の評価装置

発明者： 池 田 隆 洋 ,  浅 野 昌 史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  木本 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-013360
公開番号（公開出願番号）：特開2009-176909
出願日： 2008年01月24日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】ランダムサンプリングの前提や正規母集団の前提が成り立たなくても、抜取検査を正確に評価する方法及び装置の提供。【解決手段】検査対象の第1サンプリングプラン及び第1合格判定値の算出条件を決定し、決定された第1サンプリングプランに基づいて、第1測定値を取得し、取得された第1測定値及び決定された第1合格判定値の算出条件に基づいて、第1合格判定値、第1分布関数及び第1合格率を算出し、検査対象の第2サンプリングプラン及び第2合格判定値の算出条件を決定し、決定された第2サンプリングプランに基づいて、第2測定値を取得し、取得された第2測定値及び決定された第2合格判定値の算出条件に基づいて、第2分布関数及び第2合格率を算出し、決定された許容範囲を用いて、第1分布関数及び第1合格率並びに第2分布関数及び第2合格率を比較することによって、第1サンプリングプラン及び第2サンプリングプランを評価する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

測定値の許容範囲を決定し、 検査対象の第1サンプリングプラン及び第1合格判定値の算出条件を決定し、 前記決定された第1サンプリングプランに基づいて、製品ロットの第1測定値を取得し、 前記取得された第1測定値及び前記決定された第1合格判定値の算出条件に基づいて、第1合格判定値、第1分布関数及び第1合格率を算出し、 検査対象の第2サンプリングプラン及び第2合格判定値の算出条件を決定し、 前記決定された第2サンプリングプランに基づいて、製品ロットの第2測定値を取得し、 前記取得された第2測定値及び前記決定された第2合格判定値の算出条件に基づいて、第2分布関数及び第2合格率を算出し、 前記決定された許容範囲を用いて、前記算出された第1分布関数及び第1合格率並びに前記算出された第2分布関数及び第2合格率を比較することによって、前記第1サンプリングプラン及び前記第2サンプリングプランを評価することを特徴とする抜取検査の評価方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L21/66 Z ,  G01R31/28 H ,  H01L21/66 J

Fターム (10件)：

2G132AA00 ,  2G132AE18 ,  2G132AE23 ,  2G132AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA07 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許US6,868,299号公報
  

審査官引用 (4件)

• パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-205037   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 半導体プロセスにおける高性能プロセス制御を行うための、動的計測の方法、システム、およびコンピュータプログラム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-505994   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• ウェーハテスト方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-030932   出願人：三菱電機株式会社
• 特許第3848236号