特許
J-GLOBAL ID：201603006193496163
基板検査装置、基板検査方法及び基板検査プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277801
公開番号（公開出願番号）：特開2014-122797
特許番号：特許第6013172号
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上の被検査対象に照射光を照射する照射手段と、
固定配置された複数の撮像素子により前記被検査対象を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した複数の画像を取得する画像取得手段と、
前記複数の画像を再構成した再構成画像の中から、前記被検査対象を検査するための検査領域を探索する検査領域探索手段と、
前記探索した検査領域の画像パターンに基づいて前記被検査対象の良否判定を行う良否判定手段と、
を備え、
前記被検査対象は、所定の配列方向に向かって配列された複数の実装部を含み、
前記良否判定手段は、前記配列方向と垂直な方向に向かって前記検査領域の輝度を累積した輝度累積値と短絡判定しきい値とを比較し、当該比較結果に基づいて前記複数の実装部の短絡状態を判定し、
前記短絡判定しきい値は、第1のしきい値と、前記第1のしきい値よりも小さい第2のしきい値を含み、
前記良否判定手段は、前記配列方向に向かって前記輝度累積値が連続して前記第1のしきい値よりも大きい範囲が、第1の範囲内に含まれていることと、前記配列方向に向かって前記輝度累積値が連続して前記第2のしきい値より小さい範囲が、第2の範囲内に含まれていること、がサイクリックに繰り返され一回も外れない場合、前記複数の実装部が短絡していないと判定する、
基板検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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