特許
J-GLOBAL ID：201603006475716050
剥離方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-193574
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049698
特許番号：特許第6034625号
出願日： 2012年09月03日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 接着剤層を介してウエハに貼り付けられた支持体を、当該ウエハから剥離する剥離方法であって、
上記支持体と上記接着剤層との間には、上記支持体を介して照射される光を吸収することによって変質する分離層がさらに設けられており、
上記分離層は、その外周部分に、上記接着剤層を形成する接着剤組成物を含む接着剤部を備えており、
上記接着剤層を膨潤させて、その表面の接着性を低下させる溶剤を、上記接着剤層に供給する溶剤供給工程と、
上記溶剤供給工程の前に、上記支持体を介して上記分離層に光を照射して、上記分離層を変質させる光照射工程と、
上記光照射工程と上記溶剤供給工程との間において、上記接着剤層から上記支持体を剥離する支持体剥離工程と、
上記支持体剥離工程の前に、上記接着剤部に上記溶剤を供給する工程と、
上記溶剤供給工程後、上記ウエハから、膨潤した上記接着剤層を剥離する剥離工程と、を包含することを特徴とする剥離方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 622 P
