特許

J-GLOBAL ID：201603007400772059

時間分解光電子顕微鏡装置

発明者： 腰原 伸也 ,  福本 恵紀 ,  恩田 健
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  南山 知広 ,  河合 章 ,  伊坪 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-013604
公開番号（公開出願番号）：特開2016-138801
出願日： 2015年01月27日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：

【課題】絶縁体から半導体、さらに金属材料における光励起キャリアの移動を測定可能な時間分解光電子顕微鏡装置を得る。【解決手段】時間分解光電子顕微鏡装置は、繰り返し周波数可変のフェムト秒パルスレーザー光源(30)と、光源(30)からの光の波長を変換してポンプ光を生成する第1の波長変換手段(31)と、光源(30)からの光の波長を変換してプローブ光を生成する第2の波長変換手段(32)と、撮像手段(21)を備えた光電子顕微鏡(22)と、光源(30)および第1、第2の波長変換手段(31、32)を制御する制御手段(37)と、を備え、サンプルの禁制帯幅をEg、仕事関数をΦ、光励起キャリアの寿命をτとする時、制御手段(37)は、繰り返し周波数fを、f<1/τとなるように設定し、ポンプ光の波長λaのエネルギーEaがEa>Eg、プローブ光の波長λbのエネルギーEbがEb>Φとなるように設定する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

繰り返し周波数可変のフェムト秒パルスレーザー光源と、 前記フェムト秒パルスレーザー光源から出力される光の波長を変換してポンプ光を生成するための第1の波長変換手段と、 前記フェムト秒パルスレーザー光源から出力される光の波長を変換してプローブ光を生成するための第2の波長変換手段と、 撮像手段と前記ポンプ光及びプローブ光を導入する入射窓とを備えた光電子顕微鏡であって、前記撮像手段は当該光電子顕微鏡内に配置されたサンプルの前記ポンプ光に基づく光キャリア励起及びプローブ光に基づく光電効果によって生成された光キャリアの動的特性を撮像するものである、前記光電子顕微鏡と、 前記フェムト秒パルスレーザー光源および前記第1および第2の波長変換手段を制御する信号を生成する制御手段とを備え、 前記サンプルの禁制帯幅をEg、仕事関数をΦ、光励起されたキャリアの寿命をτとする時、前記制御手段は、前記フェムト秒パルスレーザー光源の繰り返し周波数fを、f<1/τとなるように設定し、前記第1の波長変換手段を制御して出力されるポンプ光の波長λaのエネルギーEaが、Ea>Egとなるように設定し、更に前記第2の波長変換手段を制御して出力されるプローブ光の波長λbのエネルギーEbが、Eb>Φとなるように設定することを特徴とする、時間分解光電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

G01N 23/227 ,  G02F 1/39 ,  G02B 21/06

FI (3件)：

G01N23/227 ,  G02F1/39 ,  G02B21/06

Fターム (24件)：

2G001AA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA03 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA11 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2H052AC09 ,  2H052AC14 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2K102AA06 ,  2K102BA18 ,  2K102BB02 ,  2K102BC02 ,  2K102BD09 ,  2K102DA01 ,  2K102DC08 ,  2K102EA21 ,  2K102EB20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 超高速光電子顕微鏡のための方法およびシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-010306   出願人：カリフォルニアインスティテュートオブテクノロジー
• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-013013   出願人：住友電気工業株式会社
• 顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-257395   出願人：オリンパス光学工業株式会社, 株式会社日本ローパー, 科学技術振興事業団