特許
J-GLOBAL ID：201603007480216674

感放射線性樹脂組成物、パターン製造方法、透明絶縁膜、及び表示装置

発明者：
染谷 和也

染谷 和也 について

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大内 康秀

大内 康秀 について

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西條 秀樹

西條 秀樹 について

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野田 国宏

野田 国宏 について

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引田 二郎

引田 二郎 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-207504
公開番号（公開出願番号）：特開2016-075853
出願日： 2014年10月08日
公開日（公表日）： 2016年05月12日
要約：
【課題】基板との密着性及びフォトリソグラフィー特性に優れる感放射線性樹脂組成物、上記感放射線性樹脂組成物を用いたパターン製造方法、上記感放射線性樹脂組成物を用いて得られる透明絶縁膜、及び上記透明絶縁膜を備える表示装置を提供する。【解決手段】本発明に係る感放射線性樹脂組成物は、La、Ce、Nd、Gd、Ho、Lu、Hf、及びTaからなる群より選択される少なくとも1種の元素の単体、上記元素の酸化物、上記元素のキレート化合物、上記元素の塩、並びに上記元素の合金からなる群より選択される1種以上を含み、平均粒子径が200nm以下である充填材と、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有する。上記多官能モノマーは、5官能以上の多官能モノマーであることが好ましい。また、上記多官能モノマーの含有量は、上記アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して25〜55質量部であることが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
La、Ce、Nd、Gd、Ho、Lu、Hf、及びTaからなる群より選択される少なくとも1種の元素の単体、前記元素の酸化物、前記元素のキレート化合物、前記元素の塩、並びに前記元素の合金からなる群より選択される1種以上を含み、平均粒子径が200nm以下である充填材と、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 ,  C08F 265/06
FI (6件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/027 502 ,  G02F1/1333 505 ,  H01L21/30 502R ,  C08F2/44 C ,  C08F265/06
Fターム (79件)：
2H125AC33 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC38 ,  2H125AC63 ,  2H125AD06 ,  2H125AE13P ,  2H125AN34N ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN56P ,  2H125AP08P ,  2H125AP10P ,  2H125BA02P ,  2H125BA20P ,  2H125CA22 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD29P ,  2H125CD40 ,  2H190HA03 ,  2H190HA06 ,  2H190HB07 ,  2H190HC05 ,  2H190HC11 ,  2H190HC12 ,  2H225AC33 ,  2H225AC35 ,  2H225AC36 ,  2H225AC38 ,  2H225AC63 ,  2H225AD06 ,  2H225AE13P ,  2H225AN34N ,  2H225AN36P ,  2H225AN39P ,  2H225AN56P ,  2H225AP08P ,  2H225AP10P ,  2H225BA02P ,  2H225BA20P ,  2H225CA22 ,  2H225CB02 ,  2H225CC01 ,  2H225CC13 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011CA02 ,  4J011CA08 ,  4J011CC10 ,  4J011PA03 ,  4J011PA05 ,  4J011PA07 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA86 ,  4J011PB22 ,  4J011PC02 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA33 ,  4J011QA39 ,  4J011SA61 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA45 ,  4J026AC23 ,  4J026AC24 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BB01 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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