特許
J-GLOBAL ID：201603007522625847
スパッタリングターゲットおよびその製造方法
発明者：
岡本 研
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名寄せID(JGPN) 201201100326358531 ですべてを検索
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荒堀 忠久
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佐藤 彰繁
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名寄せID(JGPN) 201550000300218116 ですべてを検索
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宮下 幸夫
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名寄せID(JGPN) 201401171088716288 ですべてを検索
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草野 英二
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名寄せID(JGPN) 200901100332354186 ですべてを検索
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坂本 宗明
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名寄せID(JGPN) 200901100349079790 ですべてを検索
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出願人/特許権者：
株式会社フェローテックセラミックス
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名寄せID(JGON) 201551000096368891 ですべてを検索
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代理人 (3件)：
特許業務法人ブライタス
, 千原 清誠
, 杉岡 幹二
公報種別：
特許公報
出願番号（国際出願番号）：
特願2013-541646
特許番号：
特許第5969493号
出願日：
2012年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 質量%で、純度が99.99%以上であり、相対密度が98%以上で、かつ平均結晶粒径が2μm未満であるアルミナ焼結体を用いたことを特徴とするスパッタリングターゲット。
IPC (1件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01)
FI (1件)：
C23C 14/34 A
引用特許：
出願人引用 (10件)
アルミナ質焼結体及びその製造方法並びにこのアルミナ質焼結体を用いたセラミックヒータ、ガスセンサ素子及びこれを備えるガスセンサ
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2000-163525
出願人：
日本特殊陶業株式会社
磁気抵抗効果素子の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2008-255607
出願人：
株式会社東芝
透明ガスバリアフィルム
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2000-204117
出願人：
東洋紡績株式会社
真空装置用窓材の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平7-256585
出願人：
株式会社神戸製鋼所
アルミナ・スパッタリング・ターゲット及びその製造方法並びに高周波スパッタリング装置
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平10-233291
出願人：
東芝セラミックス株式会社
強誘電性酸化物の緻密質焼結体およびその製造法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平10-046845
出願人：
株式会社三菱総合研究所
円筒形スパッタリングターゲット並びにセラミックス焼結体及びその製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2005-058953
出願人：
東ソー株式会社
焼結体、発光管及びその製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2007-070277
出願人：
日本碍子株式会社
透明導電膜、この透明導電膜を用いた太陽電池および透明導電膜を形成するためのスパッタリングターゲット
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2009-284644
出願人：
三菱マテリアル株式会社
焼結体の製造方法および焼結体
公報種別：
公表公報
出願番号：
特願2008-542525
出願人：
日本碍子株式会社
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審査官引用 (8件)
透明ガスバリアフィルム
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2000-204117
出願人：
東洋紡績株式会社
アルミナ質焼結体及びその製造方法並びにこのアルミナ質焼結体を用いたセラミックヒータ、ガスセンサ素子及びこれを備えるガスセンサ
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2000-163525
出願人：
日本特殊陶業株式会社
磁気抵抗効果素子の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2008-255607
出願人：
株式会社東芝
真空装置用窓材の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平7-256585
出願人：
株式会社神戸製鋼所
アルミナ・スパッタリング・ターゲット及びその製造方法並びに高周波スパッタリング装置
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平10-233291
出願人：
東芝セラミックス株式会社
強誘電性酸化物の緻密質焼結体およびその製造法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平10-046845
出願人：
株式会社三菱総合研究所
円筒形スパッタリングターゲット並びにセラミックス焼結体及びその製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2005-058953
出願人：
東ソー株式会社
焼結体、発光管及びその製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2007-070277
出願人：
日本碍子株式会社
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