特許
J-GLOBAL ID:201603007825151406

ガスセンサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-062437
公開番号(公開出願番号):特開2016-065852
出願日: 2015年03月25日
公開日(公表日): 2016年04月28日
要約:
【課題】多孔質保護層の剥離をより抑制することができるガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】長尺な直方体形状のセンサ素子101の6個の表面のうち5面にそれぞれ形成された多孔質保護層91a〜91eを有する多孔質保護部90を形成する工程は、形成面積の最も広い2つの多孔質保護層91a,91bを先行形成するステップb、形成済みの少なくとも2つの多孔質保護層91a,91bを接続するように、多孔質保護部90のうち未形成の多孔質保護層91c,91dを形成するステップc、形成済みの多孔質保護層91a〜91dを接続するように、多孔質保護層91eを形成するステップdを含む。先行形成される2つの多孔質保護層91a,91bが、センサ素子101の6個の表面のうち互いに反対側の面である上下面に位置している。【選択図】図4
請求項(抜粋):
長尺な直方体形状のセンサ素子と、該センサ素子の6個の表面のうち少なくとも3面にそれぞれ形成された多孔質保護層を有する多孔質保護部と、を備えたガスセンサの製造方法であって、 (a)前記センサ素子を用意する工程と、 (b)前記多孔質保護部のうち形成面積の最も広い2つの前記多孔質保護層を先行形成する工程と、 (c)形成済みの少なくとも2つの多孔質保護層と接続されるように、前記多孔質保護部のうち未形成の多孔質保護層を形成する工程と、 を含むガスセンサの製造方法。
IPC (2件):
G01N 27/416 ,  G01N 27/409
FI (2件):
G01N27/46 331 ,  G01N27/58 B
Fターム (3件):
2G004BB04 ,  2G004BF03 ,  2G004ZA04
引用特許:
出願人引用 (5件)
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