特許
J-GLOBAL ID：201603007858632663

瞳強度分布の調整方法、照明光学系およびその調整方法、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者：
松山 知行

松山 知行 について

, 
池田 順司

池田 順司 について

, 
松井 良太

松井 良太 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-026762
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165134
特許番号：特許第5994970号
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1面に配置されるパターンの像を第2面上に形成する結像光学系に照明光を供給する照明光学系の照明瞳に形成すべき瞳強度分布を調整する方法であって、 基準的な瞳強度分布について、変調パラメータの微小変化に応じたOPE値の変化をパラメータ毎に求めることと、 前記基準的な瞳強度分布により得られるOPE値を得ることと、 前記パラメータ毎のOPE値の変化を用いる調整手法により、前記得られたOPE値が目標OPE値に近づくように変調された第1の瞳強度分布を求めることと、 前記第1の瞳強度分布により得られるOPE値を予測することと、 前記パラメータ毎のOPE値の前記変化を用いる調整手法により、前記予測したOPE値が前記目標OPE値に近づくように変調された第2の瞳強度分布を求めることと、を含む、瞳強度分布の調整方法。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 19/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  G02B 19/00 ,  G02B 5/00 Z
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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