熱電変換素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：飯田敏三 , 宮前尚祐 , 野明千雪
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-123397
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251333
特許番号：特許第5992208号
出願日： 2012年05月30日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シュウ酸を含む電解質溶液を用いてアルミニウム基板を陽極酸化処理する工程、得られた陽極酸化アルミニウム基板を、該シュウ酸の沸点、分解温度又は昇華温度以上でアニール処理する工程、アニール処理した陽極酸化アルミニウム基板上に熱電変換材料を気相蒸着法で成膜して熱電変換層を形成する工程、及び、該熱電変換層を不活性ガス雰囲気下でアニール処理する工程、を含む熱電変換素子の製造方法。

IPC (3件)：