研摩材、その製造方法及びそれを含む研摩スラリー

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：特許業務法人翔和国際特許事務所 , 羽鳥修 , 松嶋善之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-208660
公開番号（公開出願番号）：特開2015-071715
特許番号：特許第6033750号
出願日： 2013年10月03日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】芯材に二酸化マンガンを含有し、前記芯材の表面にケイ素の酸化物を含む被覆層が存在する研摩砥粒を含む研摩材であって、前記研摩砥粒のレーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積50容量%における体積累積粒径D50が0.3μm以上3.0μmであり、前記研摩砥粒は、該研摩砥粒を含むスラリーを5時間煮沸した後に、該研摩砥粒を走査型電子顕微鏡により観察したとき、縦軸と横軸との比が1.0以上1.5未満である、研摩材。

IPC (1件)：