特許
J-GLOBAL ID：201103016944446084
研摩材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-282084
公開番号（公開出願番号）：特開2011-121153
出願日： 2009年12月11日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：
【課題】研摩処理が困難な炭化珪素を、高い面精度で研摩処理することができる研摩材を提供する。【解決手段】走査電子顕微鏡により観察された粒子の縦軸と横軸との比が3.0以下である非針状形態を有する二酸化マンガン粒子からなることを特徴とする研摩材である。その観察された粒子の縦軸の平均粒径DSEMが1.0μm以下が好ましく、また、レーザ回折・散乱法粒子径分布測定の体積基準の積算分率における50%径D50が2.0μm以下が好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡により観察された粒子の縦軸と横軸との比が3.0以下である非針状形態を有する二酸化マンガン粒子からなることを特徴とする研摩材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B37/00 H
, C09K3/14 550C
3C058AA07
, 3C058CA05
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA02
