特許
J-GLOBAL ID：201603009359901230
振動デバイス、電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-145116
公開番号（公開出願番号）：特開2014-011532
特許番号：特許第5953980号
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板上に空隙を隔てて配置され前記基板に対して変位可能な可動電極と、平面視で
前記可動電極に隣り合って前記基板上に配置されている固定電極と、前記可動電極に対し
て静電力で引っ張り応力又は圧縮応力を与えるための少なくとも2つに分割された周波数
調整電極と、を備える振動子と、
前記振動子を発振させる発振回路と、
分割された前記周波数調整電極のそれぞれに2種類の電圧のいずれかを選択的に与える
スイッチ回路と、を備え、
前記可動電極は、
前記基板に一端が固定され且つ前記基板に対して変位可能な梁で支持され、
前記周波数調整電極は、
平面視で前記可動電極と重ならない前記基板上であって、前記梁の固定されていない他
端側に配置されている
振動デバイス。
IPC (3件)：
H03H 9/24 ( 200 6.01)
, H03B 5/30 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
H03H 9/24 Z
, H03B 5/30 Z
, B81B 3/00
