特許
J-GLOBAL ID：201603009382933999
高温測定のための加熱源反射フィルタを含む装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036807
公開番号（公開出願番号）：特開2016-139813
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：
【課題】放射高温測定を使用して基板を処理し、温度を測定する方法および装置を提供する。【解決手段】処理チャンバ10の窓上に、反射層が提供される。第1の波長範囲内の放射を提供する放射源が基板12を加熱する。基板12は、所定の温度範囲で第1の波長範囲内の第2の波長範囲内の放射に対して透明である。第2の波長範囲内の放射は、反射層28によって反射される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を処理するシステムであって、
第1の波長範囲内の放射を提供する熱源と、
前記第1の波長範囲内の第2の波長範囲内の放射を検出することによって、チャンバのプロセス区域内に配置された前記基板の温度を測定する高温計と、
前記熱源と前記基板を分離する窓とを備え、前記窓が、前記第1の波長範囲内の放射に対して実質上透明である材料から作られており、また前記熱源と前記基板の間の表面全体を覆う反射層を有し、前記反射層が、前記第2の波長範囲内の放射に対して実質上反射性であり、前記窓が、前記第2の波長範囲内の放射が前記高温計に透過されるのを防止するのに効果的である、システム。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/26 T
, H01L21/26 G
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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