特許
J-GLOBAL ID:201603009790535020
マスクブランク収納ケース、マスクブランクの収納方法、及びマスクブランク収納体
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大塚 武史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-145779
公開番号(公開出願番号):特開2014-010238
特許番号:特許第6013045号
出願日: 2012年06月28日
公開日(公表日): 2014年01月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せて嵌め合わされる蓋体とを備え、マスクブランクを内部に縦方向に収納するマスクブランク収納ケースであって、
前記ケース本体及び前記蓋体はそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、前記ケース本体の開口縁における一方の対向する2箇所に前記嵌合部を設けるとともに、他方の対向する2箇所に、前記蓋体の開閉時における前記ケース内の負圧変化を抑制する切欠きを設けることを特徴とするマスクブランク収納ケース。
IPC (3件):
G03F 1/66 ( 201 2.01)
, B65D 85/86 ( 200 6.01)
, H01L 21/673 ( 200 6.01)
FI (3件):
G03F 1/66
, B65D 85/38 R
, H01L 21/68 T
引用特許: