特許
J-GLOBAL ID：201603010600107247
半導体光変調装置及び半導体光変調装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠彦
, 山口 昭則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062886
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195715
特許番号：特許第5910214号
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、
前記光変調導波路の側面の両側において、前記光変調導波路の各々の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上側に形成された上部酸化膜層と、
前記上部酸化膜層において、前記接続構造部の上の一部又は全部に形成された開口部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の下側に形成された下部酸化膜層と、
前記接続構造部と接している下部酸化膜層の一部を除去することにより形成された空間部と、
を有し、
前記光変調導波路の上側に形成された前記上部酸化膜層及び前記光変調導波路の下側に形成された前記下部酸化膜層は除去されずに前記光変調導波路を挟んでいることを特徴とする半導体光変調装置。
IPC (2件)：
G02F 1/025 ( 200 6.01)
, G02F 1/015 ( 200 6.01)
G02F 1/025
, G02F 1/015 505
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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