特許
J-GLOBAL ID：201603011618902849
剥離装置、剥離システムおよび剥離方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-205848
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060347
特許番号：特許第5875962号
出願日： 2012年09月19日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置であって、
前記重合基板は、該重合基板よりも大径の開口部を有するフレームの該開口部に配置されるとともに、該開口部に設けられたテープに対して前記第1基板の非接合面が貼り付けられることによって前記フレームに保持されており、
前記重合基板のうち前記第2基板を上方から保持する第1保持部と、
前記重合基板のうち前記第1基板を前記テープを介して下方から保持する第2保持部と、
前記第1保持部を前記第2保持部から離す方向へ移動させる移動機構と、
前記第1基板と前記第2基板との接合部分に対して切り込みを入れる切込部と、
前記切込部を前記接合部分へ向けて水平方向に沿って移動させる位置調整部と、
前記フレームを前記第2保持部の保持面よりも低い位置で下方から保持するフレーム保持部と
を備えることを特徴とする剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 622 J
