特許
J-GLOBAL ID:201603011800501809

ガス処理装置におけるガス流路部材およびガス検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大井 正彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-222129
公開番号(公開出願番号):特開2014-074647
特許番号:特許第6025485号
出願日: 2012年10月04日
公開日(公表日): 2014年04月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ガス処理装置において用いられる、複数のガス用機器を相互に接続するガス流路を構成するガス流路部材であって、 前記ガス用機器の一がポンプであって、 互いに連結されて固定された正面板および裏面板の間に、互いに区画された、各々前記ポンプにより供給されるガス流の脈動に対する緩衝作用を有する複数の流路室が形成されてなり、 各々の流路室には、表面または裏面に開口するガス流入部およびガス流出部が形成されており、 前記ガス用機器が、互いに隣接する2つの流路室における、一方の流路室のガス流入部および他方の流路室のガス流出部に接続されることを特徴とするガス流路部材。
IPC (4件):
G01N 27/00 ( 200 6.01) ,  G01N 27/16 ( 200 6.01) ,  G01N 1/00 ( 200 6.01) ,  F16L 41/00 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01N 27/00 K ,  G01N 27/16 A ,  G01N 1/00 101 R ,  F16L 41/00
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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