ガス流量制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高畑靖世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332060
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147722
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】ガスを正確、且つ安全に供給するガス流量制御装置を提供する。【解決手段】 (A)駆動空気圧に応じてガス流路の開度を変えることによりガス流量を制御する空気圧駆動バルブと、(B)ソニックノズル及び圧力センサの組合わせからなるガス流量計測部と、前記ガス流量計測部で送出する信号を演算処理して制御信号を送出する記憶演算部とを有するガス流量計測器と、(C)空気圧駆動ストップバルブと、(D)前記空気圧駆動バルブと、ガス流量計測器と、空気圧駆動ストップバルブとをその片面に着脱自在に取付けると共にこれらをこの順序で連結するガス流路を穿設したプレートとからなり、前記プレートのガス流路を流れるガス流量をガス流量計測器で検出演算して外部の空気圧コントローラに制御信号を送り、このデータに基づいて空気圧コントローラの送出す駆動空気で、空気圧駆動バルブの開度を調節することによりガス流路を流れるガス流量を制御する。

請求項（抜粋）：

(A)駆動空気圧に応じてガス流路の開度を変えることによりガス流量を制御する空気圧駆動バルブと、(B)ソニックノズル及び圧力センサの組合わせからなるガス流量計測部と、前記ガス流量計測部で送出する信号を取込み演算処理して制御信号を送出する記憶演算部とを有するガス流量計測器と、(C)空気圧駆動ストップバルブと、(D)前記空気圧駆動バルブと、ガス流量計測器と、空気圧駆動ストップバルブとをその片面に着脱自在に取付けると共にこれらをこの順序で連結するガス流路を穿設したプレートとからなり、前記プレートに穿設したガス流路を流れるガスの流量をガス流量計測器で検出演算して外部の空気圧コントローラに制御信号を送り、このデータに基づいて空気圧コントローラの送出す駆動空気で、空気圧駆動バルブの開度を調節することにより前記プレートに形成したガス流路を流れるガス流量を制御するガス流量制御装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 , G05D 7/03

FI (2件)：

G05D 7/06 Z , G05D 7/03

Fターム (14件)：

5H307AA20 , 5H307BB01 , 5H307DD11 , 5H307DD13 , 5H307DD17 , 5H307DD18 , 5H307DD20 , 5H307EE02 , 5H307EE08 , 5H307FF03 , 5H307FF12 , 5H307GG01 , 5H307HH04 , 5H307JJ01

引用特許：

審査官引用 (14件)

圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144722 出願人：株式会社フジキン
遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-164673 出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン
流体制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-278495 出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン

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