結晶成長装置および結晶成長方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深井敏和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-061980
公開番号（公開出願番号）：特開2013-193907
特許番号：特許第5964094号
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭素を含む珪素の融液を内部に収容する、炭素で構成される結晶成長用坩堝と、該結晶成長用坩堝の開口部から前記内部に出し入れ可能な保持部材と、該保持部材によって保持されている上面、および該上面と反対側に位置しており結晶を成長させる下面を有する、炭化珪素からなる種結晶とを備え、前記結晶成長用坩堝は、炭素で構成される、内壁面から中央部を取り囲むように延びている、前記融液からの蒸気の移動を抑制するための第1抑制板を有する、結晶成長装置。

IPC (2件)：