特許
J-GLOBAL ID：201103004722588923

炭化珪素単結晶インゴットの製造装置

発明者：
柘植 弘志

柘植 弘志 について

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藤本 辰雄

藤本 辰雄 について

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勝野 正和

勝野 正和 について

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中林 正史

中林 正史 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (4件)： 佐々木 一也 ,  成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  鳥野 正司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-088703
公開番号（公開出願番号）：特開2011-219295
出願日： 2010年04月07日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
【課題】種結晶を用いた改良型レーリー法を用いて炭化珪素単結晶を作製する場合において、インゴット長さが長くて高品質の炭化珪素単結晶を得ることを可能とする炭化珪素単結晶の製造装置を提供する。【解決手段】昇華再結晶法により炭化珪素単結晶インゴットを製造する装置S1であり、坩堝1とその外面を被覆する断熱材5との間に空隙6を有し、空隙6が軸対称な坩堝1の径方向に5〜40mmの幅寸法を有すると共に、断熱材5の外部に連通する構成を備えた炭化珪素単結晶インゴットの製造装置S1であり、結晶成長中の断熱材5の性能劣化を抑制し、安定した成長条件を得ることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
昇華再結晶法により炭化珪素単結晶インゴットを製造する装置であり、坩堝とその外面を被覆する断熱材との間に空隙を有し、該空隙が軸対称な坩堝径方向に5〜40mmの幅寸法を有すると共に、断熱材外部に連通することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造装置。
IPC (2件)：
C30B 29/36 ,  C30B 23/06
FI (2件)：
C30B29/36 A ,  C30B23/06
Fターム (10件)：
4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077EG25 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077SA01 ,  4G077SA04 ,  4G077SA11
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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